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초미소 유량 게측이 가능한 유량 센서
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一戸和大[템텍연구소] / 一戸和大[템텍연구소] / 2016

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정밀도 한계의 검사
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반도체／디스플레이 클린룸 에너지절약기술 개발
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반도체 웨이퍼 제조공정 클린룸 구조, 공기조화 및 오염제어시스템
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최광민[삼성전자] 외 / 최광민[삼성전자] 외 / 2016

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반도체공정의 순간전압강하시 전력품질 개선 방안
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이교범 / 이교범 / 2016

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분말야금법으로 제조된 Ni-Al 합금의 열탄성 마르텐사이트 변태 및 변형특성
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