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超精密形狀計測技術
超精密形狀計測技術
상세정보
- 자료유형
- 단행본
- UDC
- 531.715
- UDC
- 53.083.7
- DDC
- 620.0044 일45ㅊ-23
- 청구기호
- 620.0044 일45ㅊ
- 저자명
- 日本機械學會
- 서명/저자
- 超精密形狀計測技術 / 日本機械學會
- 발행사항
- 일본 : コロナ社, 1996
- 형태사항
- 172p. : 삽도 ; 22cm.
- 총서명
- 超精密シリ-ズ ; 4
- 내용주기
- 완전내용1. 超精密計測の基本的槪念부분내용1완전내용2. 光學的手法による表面微細形狀計測技術부분내용17완전내용3. 觸針法による表面微細形狀計測技術부분내용63완전내용4. 非球面形狀計測技術부분내용93완전내용5. 三次元測定機による形狀計測技術부분내용107완전내용6. SPM による超精密形狀計測技術부분내용130완전내용7. レザ干涉測長器の波長校正부분내용146
- 가격
- 2,781
- Control Number
- gtec:6501
MARC
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■505 ▼a1. 超精密計測の基本的槪念▼c1▼a2. 光學的手法による表面微細形狀計測技術▼c17▼a3. 觸針法による表面微細形狀計測技術▼c63▼a4. 非球面形狀計測技術▼c93▼a5. 三次元測定機による形狀計測技術▼c107▼a6. SPM による超精密形狀計測技術▼c130▼a7. レザ干涉測長器の波長校正▼c146
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