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반도체평가기술
반도체평가기술
Detailed Information
- 자료유형
- 단행본
- UDC
- 621.382
- DDC
- 621.38152 홍45ㅂ-23
- 청구기호
- 621.38152 홍45ㅂ
- 저자명
- 홍봉식, 구경완, 김광호 역.
- 서명/저자
- 반도체평가기술 / 홍봉식, 구경완, 김광호 역. ; 河東田 隆 편저
- 발행사항
- 서울 : 기전연구사, 1994
- 형태사항
- 449p. : 삽도 ; 24cm.
- 내용주기
- 완전내용반도체 디바이스 프로세스와 평가부분내용12완전내용반도체 결정의 불완전성과 평가부분내용43완전내용평가의 목적과 평가 기술의 선택부분내용95완전내용현미경.전자선 및 X선을 이용한 구조평가기술부분내용225완전내용전기적평가 기술부분내용309완전내용광학적 평가 기술부분내용357완전내용기기분석부분내용404완전내용평가를 위한 기초기술부분내용193
- 가격
- 15,000
- Control Number
- gtec:5905
MARC
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■24510▼a반도체평가기술▼d홍봉식, 구경완, 김광호 역. ▼e 河東田 隆 편저
■260 ▼a서울▼b기전연구사▼c1994
■300 ▼a449p.▼b삽도▼c24cm.
■505 ▼a반도체 디바이스 프로세스와 평가▼c12▼a반도체 결정의 불완전성과 평가▼c43▼a평가의 목적과 평가 기술의 선택▼c95▼a현미경.전자선 및 X선을 이용한 구조평가기술▼c225▼a전기적평가 기술▼c309▼a광학적 평가 기술▼c357▼a기기분석▼c404▼a평가를 위한 기초기술▼c193
■950 ▼b15,000
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