Material Type  

 단행본

UDC  

621.382

DDC  

621.381 김83U 4-23

Callnumber  

621.381 김83U 4

Author  

김철주 감수

Title/Author  

ULSI공정기술 / 김철주 감수

Publish Info  

서울 : 아카데미아리서치, 1998

Material Info  

340p. : 삽도 ; 24cm.

Added Entry-Title  

전자컴퓨터공학연구총서 ; 4

Formatted Contents Note  

완전내용미래의 ULSI 공정기술부분내용1완전내용ULSI 공정기술과 구조부분내용4완전내용미세 가공 기술부분내용9완전내용박막 퇴적 기술부분내용68완전내용산화막 기술부분내용103완전내용불순물 도입기술부분내용128완전내용청정화 기술부분내용168완전내용결정 성장 기술부분내용203완전내용고.강유전체 박막형성기술부분내용229완전내용공정 모듈 기술부분내용26400완전내용공정 시뮬레이션 기술부분내용29111

Price Info  

39,800

Control Number  

gtec:5825