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半導體イオン注入技術 = 集積回路プロセス技術シリ-ズ
半導體イオン注入技術 = 集積回路プロセス技術シリ-ズ
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■1000 ▼a蒲生健次
■24510▼a半導體イオン注入技術▼x集積回路プロセス技術シリ-ズ▼d蒲生健次 저.
■260 ▼a일본▼b産業圖書▼c1986
■300 ▼a212p.▼c22cm
■500 ▼a반도체 이온주입 기술 집적회로 프로세스기술 시리즈
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- 예약
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- イオン注入の基礎過程…7
- 照射損傷とアニ─ル效果…37
- 照射損傷とアニ─ル效果 (化合物半導體)…79
- デバイス應用…127
- デバイスヘの應用 (化合物半導體)…165
- イオン注入將置…191
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'서고'에 소장중인 자료의 열람(또는 대출)을 희망할 경우, 종합자료실 데스크로 문의바랍니다.
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