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半導體プラズマプロセス技術
半導體プラズマプロセス技術 / 管野卓雄 편저. = 集積回路プロセス技術シリ-ズ
半導體プラズマプロセス技術

Detailed Information

자료유형  
 단행본
UDC  
621.382
DDC  
621.3815 관63ㅂ-23
청구기호  
621.3815 관63ㅂ
저자명  
管野卓雄 편저.
서명/저자  
半導體プラズマプロセス技術 / 管野卓雄 편저. = 集積回路プロセス技術シリ-ズ
발행사항  
동경 : 産業圖書, 1985
형태사항  
373 : 삽도 ; 22
주기사항  
반도체 프라스마 프로세스기술 프라즈마 집적회로 프로세스기술 시리즈
가격  
￦
Control Number  
gtec:527

MARC

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