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博膜ハンドブック
博膜ハンドブック / 日本學術振興會博膜第131委員會 편.
博膜ハンドブック

Detailed Information

자료유형  
 단행본
UDC  
539.23
DDC  
539-23
청구기호  
539 일45ㅂ
저자명  
日本學術振興會博膜第131委員會 편.
서명/저자  
博膜ハンドブック / 日本學術振興會博膜第131委員會 편.
발행사항  
동경 : オ-ム社, 1993
형태사항  
950 : 삽도 ; 27
주기사항  
박막 핸드북 thin film
가격  
32,960
Control Number  
gtec:4787

MARC

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■9500  ▼c32,960

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    • Ⅰ編 博膜の製作法
    • 1章 基板
    • 2章 眞空蒸着法
    • 3章 スパツタリング
    • 4章 化學的方法
    • 5章 博膜パタ­ン形成法
    • Ⅱ編 博膜の基本的性質と測定
    • 1章 膜厚測定法
    • 2章 機械的性質
    • 3章 博膜の構造
    • 4章 博膜組成の分析
    • 5章 博膜の經年變化と信賴性
    • Ⅲ編 博膜の物性と應用33
    • 1章 電磁氣的性質と應用
    • 2章 光學的性質と應用
    • 3章 機械的性質と應用
    • 4章 プラスチック基板上の博膜
    • 附錄

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