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イオンビ-ムによる薄膜設計
イオンビ-ムによる薄膜設計 / 山田公 저. ; 日本表面科學會편. = 表面 薄膜分子設計シリ-ズ ; 15
イオンビ-ムによる薄膜設計

상세정보

자료유형  
 단행본
UDC  
539.23
DDC  
539-23
청구기호  
539 산74ㅇ
저자명  
山田公 저. ; 日本表面科學會편.
서명/저자  
イオンビ-ムによる薄膜設計 / 山田公 저. ; 日本表面科學會편. = 表面 薄膜分子設計シリ-ズ ; 15
발행사항  
東京 : 共立出版, 1991
형태사항  
114 : 삽도 ; 19
주기사항  
이온빔에의한 박막설계 표면 박막분자설계시리즈 ionbeam
가격  
￦1360
Control Number  
gtec:4503

MARC

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    • 第3章 種種 のイオンの 照射效果を用いた薄膜形成法…62
    • 第4章 プラズマ中での薄膜形成法…66
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