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イオンビ-ムによる薄膜設計
イオンビ-ムによる薄膜設計 / 山田公 저. ; 日本表面科學會편. = 表面 薄膜分子設計シリ-ズ ; 15
イオンビ-ムによる薄膜設計

Detailed Information

Material Type  
 단행본
UDC  
539.23
DDC  
539-23
Callnumber  
539 산74ㅇ
Author  
山田公 저. ; 日本表面科學會편.
Title/Author  
イオンビ-ムによる薄膜設計 / 山田公 저. ; 日本表面科學會편. = 表面 薄膜分子設計シリ-ズ ; 15
Publish Info  
東京 : 共立出版, 1991
Material Info  
114 : 삽도 ; 19
General Note  
이온빔에의한 박막설계 표면 박막분자설계시리즈 ionbeam
Price Info  
￦1360
Control Number  
gtec:4503

MARC

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■950    ▼b￦1360

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    Books borrowed together with this book

    • 第1章 薄膜の形成…1
    • 第2章 イオソビムの作用…10
    • 第3章 種種 のイオンの 照射效果を用いた薄膜形成法…62
    • 第4章 プラズマ中での薄膜形成法…66
    • 第5章 眞空中での薄膜形成法…75

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