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박막공학 = Thin Film Technology
박막공학 = Thin Film Technology
Detailed Information
- Material Type
- 단행본
- ISBN
- 9788962490756
- DDC
- 621.38152-23
- Callnumber
- 621.38152 김95ㅂ
- Author
- 김홍배
- Title/Author
- 박막공학 = Thin Film Technology / 김홍배 지음
- Publish Info
- 서울 : 서훈, 2013
- Material Info
- 243 p. : 삽화, 도표 ; 26 cm.
- Price Info
- \23000
- Control Number
- gtec:400840
- 책소개
-
박막기술의 기초가 되는 진공과학으로부터 시작하여 박막의 전자부품에서 응용에 이르기까지 박막공학의 여러 분야를 기초 개념부터 제작기술까지 설명하는 『박막공학』. 진공의 기초 원리, 진공을 형성하는데 필요한 진공펌프를 종류별로 이야기하며, 진공도를 측정할 때 쓰이는 진공게이지를 다루는 등 박막공학에 대한 이해를 돕는다. 가능한 원어를 한글로 표기하고자 하였고, 부득이한 경우에는 원어로 표기하였으며 많은 그림과 데이터를 제공하고 있다.
MARC
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