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실리콘 융체 중에서 스파이럴 발생을 억제해서 고품질의 결정 성장을 실현
실리콘 융체 중에서 스파이럴 발생을 억제해서 고품질의 결정 성장을 실현
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12271144
- 서명/저자
- 실리콘 융체 중에서 스파이럴 발생을 억제해서 고품질의 결정 성장을 실현
- 형태사항
- pp. 135
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- gtec:380428
MARC
008171206s1993 aa kor■022 ▼a12271144
■245 ▼a실리콘 융체 중에서 스파이럴 발생을 억제해서 고품질의 결정 성장을 실현
■300 ▼app. 135
■773 ▼t자동화기술 : AUTOMATION SYSTEMS▼gv.9 n.1▼d1993, 01
■SIS ▼aKS003471▼b63102▼h3▼sG
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