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서브미크론 정밀도의 요구에 대응하는 위치·길이의 측정
서브미크론 정밀도의 요구에 대응하는 위치·길이의 측정
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12271144
- 서명/저자
- 서브미크론 정밀도의 요구에 대응하는 위치·길이의 측정
- 형태사항
- pp. 113
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- gtec:380413
MARC
008171206s1993 aa kor■022 ▼a12271144
■245 ▼a서브미크론 정밀도의 요구에 대응하는 위치·길이의 측정
■300 ▼app. 113
■773 ▼t자동화기술 : AUTOMATION SYSTEMS▼gv.9 n.1▼d1993, 01
■SIS ▼aKS003471▼b63102▼h3▼sG
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