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이종 반도체 융합 공정에 따른 비소 오염 최소화 연구
![이종 반도체 융합 공정에 따른 비소 오염 최소화 연구 / 임성규[나노종합기술원] 외](/Sponge/Images/bookDefaults/AAbookdefaultsmall.png)
이종 반도체 융합 공정에 따른 비소 오염 최소화 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12271772
- 서명/저자
- 이종 반도체 융합 공정에 따른 비소 오염 최소화 연구 / 임성규[나노종합기술원] 외
- 형태사항
- pp. 18
- 기타저자
- 임성규[나노종합기술원] 외
- 기본자료저록
- 자동제어계측 : v.30 n.2 2017, 02
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- gtec:373104
MARC
008171124s2017 aa kor■022 ▼a12271772
■245 ▼a이종 반도체 융합 공정에 따른 비소 오염 최소화 연구▼d임성규[나노종합기술원] 외
■300 ▼app. 18
■7001 ▼a임성규[나노종합기술원] 외
■773 ▼t자동제어계측▼gv.30 n.2▼d2017, 02
■SIS ▼aKS033664▼b63138▼h3▼sG
