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OES 센서를 이용한 반도체 식각 공정 모니터링 시스템 개발
OES 센서를 이용한 반도체 식각 공정 모니터링 시스템 개발
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12271772
- 서명/저자
- OES 센서를 이용한 반도체 식각 공정 모니터링 시스템 개발 / 김상철
- 형태사항
- pp. 22
- 기타저자
- 김상철
- 기본자료저록
- 자동제어계측 : v.28 n.8 2015, 08
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- gtec:368814
MARC
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