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SiH4 환원에 의한 Selective CVD-W 막의 부착특성과 전류누설에 관한 연구
SiH4 환원에 의한 Selective CVD-W 막의 부착특성과 전류누설에 관한 연구 / 임영진
SiH4 환원에 의한 Selective CVD-W 막의 부착특성과 전류누설에 관한 연구

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
SiH4 환원에 의한 Selective CVD-W 막의 부착특성과 전류누설에 관한 연구 / 임영진
형태사항  
pp. 520
기타저자  
임영진
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.29 n.5 1991, 05
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:361859

MARC

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