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SiH4 환원에 의한 선택성 CVD-W 막 특성에 대한 WF6 가스유속의 효과
SiH4 환원에 의한 선택성 CVD-W 막 특성에 대한 WF6 가스유속의 효과 / 이종무
SiH4 환원에 의한 선택성 CVD-W 막 특성에 대한 WF6 가스유속의 효과

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
SiH4 환원에 의한 선택성 CVD-W 막 특성에 대한 WF6 가스유속의 효과 / 이종무
형태사항  
pp. 877
기타저자  
이종무
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.29 n.9 1991, 09
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:361816

MARC

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