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Magnetron Sputtering 에 의한 질화물 증착의 반응속도론
Magnetron Sputtering 에 의한 질화물 증착의 반응속도론 / 김종희
Magnetron Sputtering 에 의한 질화물 증착의 반응속도론

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
Magnetron Sputtering 에 의한 질화물 증착의 반응속도론 / 김종희
형태사항  
pp. 75
기타저자  
김종희
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.30 n.1 1992, 01
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:361751

MARC

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