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PECVD 에 의해 형성된 Diamondlike Carbon 박막에서 DC Self Bias 및 보조 gas 가 광학적 성질에 미치는 영향
PECVD 에 의해 형성된 Diamondlike Carbon 박막에서 DC Self Bias 및 보조 gas 가 광학적 성질에...
PECVD 에 의해 형성된 Diamondlike Carbon 박막에서 DC Self Bias 및 보조 gas 가 광학적 성질에 미치는 영향

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
PECVD 에 의해 형성된 Diamondlike Carbon 박막에서 DC Self Bias 및 보조 gas 가 광학적 성질에 미치는 영향 / 김한
형태사항  
pp. 32
기타저자  
김한
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.31 n.1 1993, 01
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:361658

MARC

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