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산화처리후 Phosphorus 이온주입한 Si 웨이퍼의 어닐링 특성
산화처리후 Phosphorus 이온주입한 Si 웨이퍼의 어닐링 특성 / 김상기
산화처리후 Phosphorus 이온주입한 Si 웨이퍼의 어닐링 특성

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
산화처리후 Phosphorus 이온주입한 Si 웨이퍼의 어닐링 특성 / 김상기
형태사항  
pp. 162
기타저자  
김상기
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.31 n.2 1993, 02
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:361629

MARC

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