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CVD 에 의한 다이아몬드박막 성장시 바이어스가 W-필라멘트의 임계 CH4 농도 및 박막성장 특성에 미치는 영향
CVD 에 의한 다이아몬드박막 성장시 바이어스가 W-필라멘트의 임계 CH4 농도 및 박막성장 특성에...
CVD 에 의한 다이아몬드박막 성장시 바이어스가 W-필라멘트의 임계 CH4 농도 및 박막성장 특성에 미치는 영향

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
CVD 에 의한 다이아몬드박막 성장시 바이어스가 W-필라멘트의 임계 CH4 농도 및 박막성장 특성에 미치는 영향 / 천병선
형태사항  
pp. 839
기타저자  
천병선
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.31 n.7 1993, 07
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:361243

MARC

 008171102s1993                                        aa    jpn
■022    ▼a17388228
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