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이온플레이팅 플라즈마의 이온 운동에너지 분포 측정
이온플레이팅 플라즈마의 이온 운동에너지 분포 측정
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 17388228
- Title/Author
- 이온플레이팅 플라즈마의 이온 운동에너지 분포 측정 / 한봉희
- Material Info
- pp. 831
- Added Entry-Personal Name
- 한봉희
- Host Item Entry
- 대한금속ㆍ재료학회지 : v.31 n.7 1993, 07
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- gtec:361242
MARC
008171102s1993 aa jpn■022 ▼a17388228
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■773 ▼t대한금속ㆍ재료학회지▼gv.31 n.7▼d1993, 07
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