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할로겐 램프 SOI-ZMR 에서 선형열원의 강도 및 주사속도가 다결정 실리콘 박막의 재결정에 미치는 영향
할로겐 램프 SOI-ZMR 에서 선형열원의 강도 및 주사속도가 다결정 실리콘 박막의 재결정에 미치...
할로겐 램프 SOI-ZMR 에서 선형열원의 강도 및 주사속도가 다결정 실리콘 박막의 재결정에 미치는 영향

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
할로겐 램프 SOI-ZMR 에서 선형열원의 강도 및 주사속도가 다결정 실리콘 박막의 재결정에 미치는 영향 / 김성균
형태사항  
pp. 957
기타저자  
김성균
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.31 n.8 1993, 08
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:361225

MARC

 008171102s1993                                        aa    jpn
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