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활성화 반응성 증발법 (ARE) 에서 질소압력 변화가 AIN 박막의 성질에 미치는 영향
활성화 반응성 증발법 (ARE) 에서 질소압력 변화가 AIN 박막의 성질에 미치는 영향 / 이종민
활성화 반응성 증발법 (ARE) 에서 질소압력 변화가 AIN 박막의 성질에 미치는 영향

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
활성화 반응성 증발법 (ARE) 에서 질소압력 변화가 AIN 박막의 성질에 미치는 영향 / 이종민
형태사항  
pp. 1331
기타저자  
이종민
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.31 n.10 1993, 10
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:361205

MARC

 008171102s1993                                        aa    jpn
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