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고성능 광자기 디스크용 SiN 박막의 반응성 스퍼터링 연구
고성능 광자기 디스크용 SiN 박막의 반응성 스퍼터링 연구 / 최건
고성능 광자기 디스크용 SiN 박막의 반응성 스퍼터링 연구

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
고성능 광자기 디스크용 SiN 박막의 반응성 스퍼터링 연구 / 최건
형태사항  
pp. 1457
기타저자  
최건
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.31 n.11 1993, 11
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:361189

MARC

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