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스퍼터조건에 따른 코발트계 박막의 불균일성 (1)
스퍼터조건에 따른 코발트계 박막의 불균일성 (1) / 정인섭
스퍼터조건에 따른 코발트계 박막의 불균일성 (1)

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
스퍼터조건에 따른 코발트계 박막의 불균일성 (1) / 정인섭
형태사항  
pp. 1418
기타저자  
정인섭
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.31 n.11 1993, 11
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:361184

MARC

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