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플라즈마 화학증착된 TiC, TiN 및 TiC/TiN 박막의 밀착성
플라즈마 화학증착된 TiC, TiN 및 TiC/TiN 박막의 밀착성
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MARC
008171102s1994 aa jpn■022 ▼a17388228
■245 ▼a플라즈마 화학증착된 TiC, TiN 및 TiC/TiN 박막의 밀착성▼d김문일
■300 ▼app. 196
■7001 ▼a김문일
■773 ▼t대한금속ㆍ재료학회지▼gv.32 n.2▼d1994, 02
■SIS ▼aKS007287▼b63212▼h3▼sG
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