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Si 의 화학증착에 의한 MoSi2 층 성장속도 및 MoSi2/Mo 쌍의 산화특성에 관한 연구
Si 의 화학증착에 의한 MoSi2 층 성장속도 및 MoSi2/Mo 쌍의 산화특성에 관한 연구
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MARC
008171102s1994 aa jpn■022 ▼a17388228
■245 ▼aSi 의 화학증착에 의한 MoSi2 층 성장속도 및 MoSi2/Mo 쌍의 산화특성에 관한 연구▼d이강욱
■300 ▼app. 313
■7001 ▼a이강욱
■773 ▼t대한금속ㆍ재료학회지▼gv.32 n.3▼d1994, 03
■SIS ▼aKS007288▼b63212▼h3▼sG
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