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실리콘 박막의 일방향 응고시 응고조건이 계면형상 및 결함형성에 미치는 영향
실리콘 박막의 일방향 응고시 응고조건이 계면형상 및 결함형성에 미치는 영향
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■773 ▼t대한금속ㆍ재료학회지▼gv.32 n.9▼d1994, 09
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