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ECR-PECVD 법으로 증착한 다이아몬드성 카본박막의 구조와 성질에 미치는 기판 rf 바이어스의 영향
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ECR-PECVD 법으로 증착한 다이아몬드성 카본박막의 구조와 성질에 미치는 기판 rf 바이어스의 영향

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
ECR-PECVD 법으로 증착한 다이아몬드성 카본박막의 구조와 성질에 미치는 기판 rf 바이어스의 영향 / 김태호
형태사항  
pp. 99
기타저자  
김태호
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.33 n.1 1995, 01
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:359682

MARC

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