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ECR-PECVD 법으로 증착한 다이아몬드성 카본박막의 구조와 성질에 미치는 기판 rf 바이어스의 영향
ECR-PECVD 법으로 증착한 다이아몬드성 카본박막의 구조와 성질에 미치는 기판 rf 바이어스의 영향
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