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Plasma 화학증착에서 AIN 박막성장에 미치는 공정변수 영향
Plasma 화학증착에서 AIN 박막성장에 미치는 공정변수 영향 / 김선효
Plasma 화학증착에서 AIN 박막성장에 미치는 공정변수 영향

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
Plasma 화학증착에서 AIN 박막성장에 미치는 공정변수 영향 / 김선효
형태사항  
pp. 350
기타저자  
김선효
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.33 n.3 1995, 03
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:359639

MARC

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