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TiCxN1-x 박막의 플라즈마 화학증착시 CH4/N2 입력분율이 증착특성에 미치는 영향
TiCxN1-x 박막의 플라즈마 화학증착시 CH4/N2 입력분율이 증착특성에 미치는 영향 / 김문일
TiCxN1-x 박막의 플라즈마 화학증착시 CH4/N2 입력분율이 증착특성에 미치는 영향

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
TiCxN1-x 박막의 플라즈마 화학증착시 CH4/N2 입력분율이 증착특성에 미치는 영향 / 김문일
형태사항  
pp. 551
기타저자  
김문일
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.33 n.4 1995, 04
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:359629

MARC

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