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저압화학증착된 혼합상 실리콘 박막의 형성기구에 관한 투과전자현미경 연구
저압화학증착된 혼합상 실리콘 박막의 형성기구에 관한 투과전자현미경 연구 / 남기수
저압화학증착된 혼합상 실리콘 박막의 형성기구에 관한 투과전자현미경 연구

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
저압화학증착된 혼합상 실리콘 박막의 형성기구에 관한 투과전자현미경 연구 / 남기수
형태사항  
pp. 730
기타저자  
남기수
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.33 n.6 1995, 06
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:359578

MARC

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