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Si 의 화학증착에 의한 MoSi2 확산층의 성장거동에 관한 연구
Si 의 화학증착에 의한 MoSi2 확산층의 성장거동에 관한 연구
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008171031s1995 aa jpn■022 ▼a17388228
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■300 ▼app. 1537
■7001 ▼a김재수
■773 ▼t대한금속ㆍ재료학회지▼gv.33 n.11▼d1995, 11
■SIS ▼aKS035387▼b63212▼h2▼sG
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