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Si 의 화학증착에 의한 MoSi2 확산층의 성장거동에 관한 연구
Si 의 화학증착에 의한 MoSi2 확산층의 성장거동에 관한 연구 / 김재수
Si 의 화학증착에 의한 MoSi2 확산층의 성장거동에 관한 연구

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
Si 의 화학증착에 의한 MoSi2 확산층의 성장거동에 관한 연구 / 김재수
형태사항  
pp. 1537
기타저자  
김재수
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.33 n.11 1995, 11
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:358927

MARC

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