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Si 기판 위에 직류 마르네트론 스퍼터링 방법으로 증착한 Ti 박막의 잔류 응력 변화와 잔류 응력이 TiSi2 형성 속도에 미치는 영향
Si 기판 위에 직류 마르네트론 스퍼터링 방법으로 증착한 Ti 박막의 잔류 응력 변화와 잔류 응력...
Si 기판 위에 직류 마르네트론 스퍼터링 방법으로 증착한 Ti 박막의 잔류 응력 변화와 잔류 응력이 TiSi2 형성 속도에 미치는 영향

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
Si 기판 위에 직류 마르네트론 스퍼터링 방법으로 증착한 Ti 박막의 잔류 응력 변화와 잔류 응력이 TiSi2 형성 속도에 미치는 영향 / 박중근
형태사항  
pp. 779
기타저자  
박중근
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.34 n.6 1996, 06
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:358609

MARC

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