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Mo 기판위에서 Si 의 화학증착속도에 미치는 Cl/H 주입비의 영향
Mo 기판위에서 Si 의 화학증착속도에 미치는 Cl/H 주입비의 영향 / 김희수
Mo 기판위에서 Si 의 화학증착속도에 미치는 Cl/H 주입비의 영향

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
Mo 기판위에서 Si 의 화학증착속도에 미치는 Cl/H 주입비의 영향 / 김희수
형태사항  
pp. 1461
기타저자  
김희수
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.36 n.9 1998, 09
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:357404

MARC

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