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ULSI 금속배선용 구리의 전착
ULSI 금속배선용 구리의 전착 / 이동녕
ULSI 금속배선용 구리의 전착

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
ULSI 금속배선용 구리의 전착 / 이동녕
형태사항  
pp. 1686
기타저자  
이동녕
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.36 n.10 1998, 10
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:357381

MARC

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