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플라즈마 화학기상증착법에 의해 제조된 TiN 피막의 색깔, 구조 및 특성에 미치는 반응기체 유량비의 영향에 대한 연구
플라즈마 화학기상증착법에 의해 제조된 TiN 피막의 색깔, 구조 및 특성에 미치는 반응기체 유량비의 영향에 대한 연구
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