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저유전상수 폴리이미드와 SiO2 기판 위에 증착된 Al 박막의 일렉트로마이그레이션 특성 비교
저유전상수 폴리이미드와 SiO2 기판 위에 증착된 Al 박막의 일렉트로마이그레이션 특성 비교 / ...
저유전상수 폴리이미드와 SiO2 기판 위에 증착된 Al 박막의 일렉트로마이그레이션 특성 비교

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
저유전상수 폴리이미드와 SiO2 기판 위에 증착된 Al 박막의 일렉트로마이그레이션 특성 비교 / 김영호
형태사항  
pp. 321
기타저자  
김영호
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.37 n.3 1999, 03
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:357255

MARC

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