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RF Magnetron Sputtering 법에 의해 형성된 AC-PCP 용 MgO 보호막의 플라즈마 부식특성에 미치는 결정성의 영향
RF Magnetron Sputtering 법에 의해 형성된 AC-PCP 용 MgO 보호막의 플라즈마 부식특성에 미치는...
RF Magnetron Sputtering 법에 의해 형성된 AC-PCP 용 MgO 보호막의 플라즈마 부식특성에 미치는 결정성의 영향

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
RF Magnetron Sputtering 법에 의해 형성된 AC-PCP 용 MgO 보호막의 플라즈마 부식특성에 미치는 결정성의 영향 / 박종완
형태사항  
pp. 614
기타저자  
박종완
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.37 n.5 1999, 05
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:357224

MARC

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