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Czochralski 법으로 성장시킨 단결정 실리콘 웨이퍼의 Internal Gettering 시 Denuded Zone 및 BMD 형성에 관한 연구
Czochralski 법으로 성장시킨 단결정 실리콘 웨이퍼의 Internal Gettering 시 Denuded Zone 및 B...
Czochralski 법으로 성장시킨 단결정 실리콘 웨이퍼의 Internal Gettering 시 Denuded Zone 및 BMD 형성에 관한 연구

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
Czochralski 법으로 성장시킨 단결정 실리콘 웨이퍼의 Internal Gettering 시 Denuded Zone 및 BMD 형성에 관한 연구 / 김현수
형태사항  
pp. 376
기타저자  
김현수
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.38 n.2 2000, 02
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:357150

MARC

 008171026s2000              a    a                          jpn
■022    ▼a17388228
■245    ▼aCzochralski  법으로  성장시킨  단결정  실리콘  웨이퍼의  Internal  Gettering  시  Denuded  Zone  및  BMD  형성에  관한  연구▼d김현수
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