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반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 다층 내마모성 경질박막의 특성
반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 다층 내마모성 경질박막의 특성 / 강영권
반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 다층 내마모성 경질박막의 특성

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 다층 내마모성 경질박막의 특성 / 강영권
형태사항  
pp. 245
기타저자  
강영권
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.38 n.2 2000, 02
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:357132

MARC

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