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핵생성 계면 제어에 의한 LPCVD 비정질 Si 박막의 고상결정화
핵생성 계면 제어에 의한 LPCVD 비정질 Si 박막의 고상결정화 / 김용수
핵생성 계면 제어에 의한 LPCVD 비정질 Si 박막의 고상결정화

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
핵생성 계면 제어에 의한 LPCVD 비정질 Si 박막의 고상결정화 / 김용수
형태사항  
pp. 935
기타저자  
김용수
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.38 n.7 2000, 07
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:357106

MARC

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