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반도체 제조공정에 사용되는 이음매(Seaming Technology in Semi-conductor Manufacturing Process)
반도체 제조공정에 사용되는 이음매(Seaming Technology in Semi-conductor Manufacturing Process)
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12271772
- 서명/저자
- 반도체 제조공정에 사용되는 이음매(Seaming Technology in Semi-conductor Manufacturing Process) / 坂本鉄雄(Tetsuo Sakamoto)
- 형태사항
- pp. 84
- 기본자료저록
- 자동제어계측 : v.17 n.2 2004, 02
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- gtec:356282
MARC
008171025s2004 a a kor■022 ▼a12271772
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