서브메뉴
검색
반도체 제조에 있어서의 압력계(Pressure Gauges in Semi-conductor Manufacturing)
반도체 제조에 있어서의 압력계(Pressure Gauges in Semi-conductor Manufacturing)
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12271772
- 서명/저자
- 반도체 제조에 있어서의 압력계(Pressure Gauges in Semi-conductor Manufacturing) / 田中徹(Toru Tanaka) ; 山田哲靖(Tetsuyasu Yamada)
- 형태사항
- pp. 70
- 기타저자
- 田中徹(Toru Tanaka)
- 기본자료저록
- 자동제어계측 : v.17 n.2 2004, 02
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- gtec:356279
MARC
008171025s2004 a a kor■022 ▼a12271772
■245 ▼a반도체 제조에 있어서의 압력계(Pressure Gauges in Semi-conductor Manufacturing)▼d 田中徹(Toru Tanaka) ▼e山田哲靖(Tetsuyasu Yamada)
■300 ▼app. 70
■7001 ▼a田中徹(Toru Tanaka)
■7001 ▼a山田哲靖(Tetsuyasu Yamada)
■773 ▼t자동제어계측▼gv.17 n.2▼d2004, 02
■SIS ▼aKS011488▼b63138▼h3▼sG
Preview
Export
ChatGPT Discussion
AI Recommended Related Books
Подробнее информация.
- Бронирование
- Book Loan Request Service
- моя папка
