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반도체 제조의 각 공정에 사용되는 온도조절계(Temperature Controller for Semi-conductor Manufacturing Processes)
반도체 제조의 각 공정에 사용되는 온도조절계(Temperature Controller for Semi-conductor Manufacturing Processes)
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12271772
- 서명/저자
- 반도체 제조의 각 공정에 사용되는 온도조절계(Temperature Controller for Semi-conductor Manufacturing Processes) / 池田芳幸(Yoshiyuki Ikeda)
- 형태사항
- pp. 57
- 기본자료저록
- 자동제어계측 : v.17 n.2 2004, 02
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- gtec:356277
MARC
008171025s2004 a a kor■022 ▼a12271772
■245 ▼a반도체 제조의 각 공정에 사용되는 온도조절계(Temperature Controller for Semi-conductor Manufacturing Processes)▼d池田芳幸(Yoshiyuki Ikeda)
■300 ▼app. 57
■7001 ▼a池田芳幸(Yoshiyuki Ikeda)
■773 ▼t자동제어계측▼gv.17 n.2▼d2004, 02
■SIS ▼aKS011488▼b63138▼h3▼sG
