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플라즈마 도움 원자층 제어 증착법을 이용한 Al2O3 의 성장과 박막 특성의 연구
플라즈마 도움 원자층 제어 증착법을 이용한 Al2O3 의 성장과 박막 특성의 연구 / 정창욱
플라즈마 도움 원자층 제어 증착법을 이용한 Al2O3 의 성장과 박막 특성의 연구

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
플라즈마 도움 원자층 제어 증착법을 이용한 Al2O3 의 성장과 박막 특성의 연구 / 정창욱
형태사항  
pp. 1395
기타저자  
정창욱
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.38 n.10 2000, 10
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:356206

MARC

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