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Si 기판의 소성변형 효과 보정에 의해 개선된 곡률측정법을 이용한 CVD 다이아몬드 박막의 잔류응력 평가
Si 기판의 소성변형 효과 보정에 의해 개선된 곡률측정법을 이용한 CVD 다이아몬드 박막의 잔류...
Si 기판의 소성변형 효과 보정에 의해 개선된 곡률측정법을 이용한 CVD 다이아몬드 박막의 잔류응력 평가

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
Si 기판의 소성변형 효과 보정에 의해 개선된 곡률측정법을 이용한 CVD 다이아몬드 박막의 잔류응력 평가 / 백영준
형태사항  
pp. 1675
기타저자  
백영준
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.38 n.12 2000, 12
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:356145

MARC

 008171025s2000              a    a                          jpn
■022    ▼a17388228
■245    ▼aSi  기판의  소성변형  효과  보정에  의해  개선된  곡률측정법을  이용한  CVD  다이아몬드  박막의  잔류응력  평가▼d백영준
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