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리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 표면위의 Cr 및 Zn 불순물 제거
리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 표면위의 Cr 및 Zn 불순물 제거 / 이종무
리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 표면위의 Cr 및 Zn 불순물 제거

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 표면위의 Cr 및 Zn 불순물 제거 / 이종무
형태사항  
pp. 334
기타저자  
이종무
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.39 n.3 2001, 03
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:356069

MARC

 008171025s2001              a    a                          jpn
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