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웨이퍼용 CVD 다이아몬드 후막의 균열발생 제어를 위한 역학적 해석
웨이퍼용 CVD 다이아몬드 후막의 균열발생 제어를 위한 역학적 해석 / 이욱성
웨이퍼용 CVD 다이아몬드 후막의 균열발생 제어를 위한 역학적 해석

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
웨이퍼용 CVD 다이아몬드 후막의 균열발생 제어를 위한 역학적 해석 / 이욱성
형태사항  
pp. 974
기타저자  
이욱성
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.39 n.9 2001, 09
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:355885

MARC

 008171025s2001              a    a                          jpn
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